华仪行(北京)科技有限公司(www.plasmacleaning.cn)中通入的普通工艺气体要想转化为等离子体,每个粒子大约需要::(1~30eV(1eV=1.6022×10-19焦耳)的能量,其中的粒子具有较高的活性和能量密度。
但要注意的是,电离的气体不一定是就是等离子体,虽然等离子体和普通气体存在一些共同特点,如它们均满足气体状态方程,但它们却有截然不同的性质,主要的3个方面的区别,现对比如下:
等离子体
电性:由大量的电子和离子组成,因此粒子是带电的,离子带正电,电子带负电。
相互作用:大量带电粒子之间的相互作用,即长程库仑力的作用,多个带电粒子之间的集体相互作用要压倒两个粒子之间的碰撞,带电粒子大角度的偏转是多重小角度偏转积累而成,所以带电粒子的运动轨迹不是简单折线,而是不断发生的小波折并逐渐形成大拐弯的曲线。
相互作用:粒子间的碰撞除弹性碰撞之外还有非弹性碰|撞,而且大量的是非弹性碰撞。
普通气体
电性:粒子是呈电中性的,本身不带电。
相互作用:粒子之间的相互作用主要是彼此之间的碰撞,是短程牛顿力的作用,其有效作用半径远小于粒子平均自由程,绝大多数时间内,粒子都是匀速直线运动,当它碰到另一个粒子时,速度大小和方向可认为瞬时地发生突变,因此粒子运动轨迹是直线段连成的折线。
相互作用:粒子间的碰撞一般是弹性碰撞。