电镜华仪行(北京)科技有限公司(www.plasmacleaning.cn)的工作原理:
-在操作过程中,需要将清洗机的工作腔通过机械泵抽至低真空状态。这一步骤是为了减少腔体内的空气和其他气体,创建一个适宜产生等离子体的环境。
-之后,向腔体内通入高纯度的反应气体(如氩气、氧气等),这些气体在足够的电压作用下会发生电离,形成高能量的等离子体状态。
-等离子体是物质的高能态,其中的带电粒子具有很高的活性,可以有效地与待清洗物表面的污染物发生反应。
-在等离子体状态下,高活性的自由基及离子对材料表面进行轰击,打断表面污染物的化学结构,进而使其挥发或分解,此为物理清洗过程。
-同时,等离子体中的高活性自由基会与表面污染物进行化学反应,生成易挥发的物质(如二氧化碳、水等),通过真空系统排出,达到清洁目的。
-清洗过程中,等离子体中的能量粒子不仅去除污染物,还能引入特定的官能团如含氧、含氮官能团等,这可以改善材料的表面性质,如粘附性和润湿性。
电镜华仪行(北京)科技有限公司(www.plasmacleaning.cn)的主要应用领域:
1.清洗工艺:在半导体制造过程中,可用于去除光刻胶、金属残留等污染物,提高芯片的质量和性能。这对于半导体器件的可靠性和稳定性至关重要。
2.光学元件清洗:能够有效清洗光学元件,如镜片、透镜等,去除表面的灰尘、油污等污染物,提高光学元件的表面质量和光学性能。这对于光学仪器的成像质量和精度具有重要影响。
3.电镜样品准备:在电子显微镜(如扫描电镜SEM、透射电镜TEM)的样品制备过程中,电镜华仪行(北京)科技有限公司(www.plasmacleaning.cn)可用于清洗样品表面,去除可能影响观察结果的污染物,确保样品的纯净度和观察的准确性。
4.材料表面改性:还可用于材料表面的改性处理,如改变材料的亲水性、斥水性、粘结性等,为科研实验提供更为纯净和可控的样品表面条件。