RIE反应离子刻蚀机的工作原理基于化学反应和物理轰击的相结合。在刻蚀过程中，刻蚀气体在高频电场的作用下电离形成等离子体。等离子体中的活性粒子(如离子、电子、自由基等)具有很高的化学活性，可以与被刻蚀材料表面的原子反应生成挥发性产物，从而实现材料的化学刻蚀。同时，高能离子在阴极附近...

第七届亚洲国际摩擦学大会暨第九届中国国际摩擦学大会(ASIATRIB&CICT2024)于2024年9月15日在天津社会山国际会议中心酒店隆重开幕。本次大会由中国机械工程学会摩擦学分会主办、清华大学天津装备研究院承办，西南交通大学、清华大学装备界面科学与技术全国重点实验室、华海清...

第十一届中国微流控学术论坛暨第四届国际微流控产业论坛于2024年9月21-22日在杭州宝盛水博园大酒店成功举行。微流控芯片技术作为一项多学科交叉的新型生物分析技术，在医疗体外诊断、药物筛选、环境监测、食品安全、微纳材料制备等众多领域已获得深入的研究和广泛的应用。学术界和产业界一致...

电镜华仪行（北京）科技有限公司(www.plasmacleaning.cn)不仅在科研和工业界有着广泛的应用，其高效的清洗能力和材料表面改性功能也推动了现代技术的发展。确保按照正确的操作流程使用设备，不仅可以达到良好的清洗效果，还可以延长设备的使用寿命，保证操作的安全性。电镜华仪行（北京）科技有限公司(www.plasmacleaning.cn)的工作原理：-在操作过程中，需要将清洗机的工作腔通过...

反应离子刻蚀机(RIE)，全称为ReactiveIonEtching，是一种在半导体制造中广泛使用的干法刻蚀技术。这项技术主要通过物理性和化学性的反应来实现对材料的准确刻蚀，以形成微细的电子结构。能够实现较高的刻蚀精度，适用于微米甚至纳米级别的图案制作；该技术提供了良好的刻蚀方向...

“中国材料大会”是中国材料研究学会的学术年会，是重要的系列品牌会议之一，是中国新材料界学术水平最高、涉及领域广、前沿动态最新的超万人学术大会，是面向国家重大需求、推动新材料前沿重大突破的高水平品牌大会。为推动经济社会高质量发展，加快建设科技强国，实现高水平科技自立自强，于2024...

等离子体是物质的一种存在状态，通常物质以固态、液态、气态三种状态存在，但在一些特殊的情况下有第四种状态存在，如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质：处于高速运动状态的电子；处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基)；离子化的原子、分子；未反应的分子、原子等，但...

等离子表面处理仪是一种利用放电形成的等离子体对材料表面进行处理的设备。等离子体是一种由电子、离子、原子和分子等粒子组成的电中性物质，具有高度活性和能量。通过控制等离子体的产生和处理条件，可以对材料表面进行微观级别的处理，实现清洁、改性、光刻胶灰化等多种目的。等离子表面处理仪的工作...